合作,开发的一氟化氪(krf)激光光源终于能够满足要求,装备到了“新江(新科、江光总厂)微电子所”研发的第三代投影曝光光刻机上,完成了亚微米光刻机自产的最后一步。
被命名为流光3.1的投影光刻机,实现了完全100%的国产化。从镜头到机械,从光源到系统,全部都是由国内厂家配套生产。干法光刻节点1微米,采用浸入式和光学邻近效应矫正等技术后,工艺节点可达到0.8微米级别。
至此,蓝光led的生产技术已经万事俱备。相较于传统照明技术,led照明的优势相当明显。
一片蓝海,正要在胡文海的描绘下,对夏雪宜和帝都显像管厂徐徐展开。