远也别想盈利,他们无论做出何种等级的设备,西方国家马上就会解除对同等设备的禁运,一点市场也别想拿到。
得益于杨东升的先知先觉,东升半导体决定直接上马极紫外线光刻相关技术。
杨东升敢这么做,是因为光刻机不用先做出第一代设备,才能做第二代设备。
光刻机三大核心部件——光源、镜头、工作台。
其中的关键光源技术,深紫外线使用的是准分子激光,跟下一代极紫外线光源相互的关联很少!
而且准分子激光技术应用很广泛,此项技术不止美国一家掌握,想绕过美国相对简单,相比之下极紫外线光源技术就比较妖孽了。
后世阿斯麦的极紫外线光刻机,使用的光源是采用激光持续轰击锡滴。
由于极紫外线只占锡滴发出的光很少一部分,大约只有百分之几,因此要使用足够强的激光轰击锡滴,才能发出足够强的光——至少得是3万瓦以上,而且还得持续不停的输出。
大功率的激光,持续不断的准确命中锡滴,每一项都是要命的技术。
在镜头上,极紫外线也与深紫外线有很大不同,极紫外线非常容易被吸收,深紫外线使用的透镜式镜头已经不能使用了,因为镜头会直接把极紫外线光线吸收掉,因此使用反射式镜头。
由于极紫外线的波长只有十几个纳米,深紫外线使用的纳米极精度,人工打磨镜头的技术也不能用了。
极紫外线用的反射式镜头,精度必须达到皮米级。
而且由于反射式镜头是一个不规则的椭球体——光源位于椭球体其中一个圆心,使用人工打磨,已经不可能。
第585章 没有秘密的秘密(3/4)