室中，韩元已经完成了对石墨烯单晶晶圆的处理。
下一步是对其进行光蚀。
也就是所谓的光刻机加工。
离子注入不在这一步，离子注入需要在光刻机加工完后才能进行处理。
如果使用光刻机进行加工碳基芯片的话，其步骤和加工硅基芯片是一样的。
第一步是制造晶圆，硅基芯片的晶圆材料是单晶硅，碳基芯片的是石墨烯单晶。
当然，除了石墨烯单晶外，碳基芯片还可以使用碳纳米管、碳纳米球这些碳纳米材料的制备的。
这并不冲突。
......
晶圆制造完成，纯度等条件符合要求后第二步就是对进行涂膜。
这一步其实就是保存晶圆的步骤。
毕竟无论是碳基芯片还是硅基芯片，其晶圆材料被制造出来后都不会马上就使用。
在现实中，amsl公司是制造芯片的超级厂商之一，但它的晶圆材料是来自进口的。
其主要来源就是小岛国。
从小岛国进口的超高精度的单晶硅晶圆从生产到切片到运输，都需要一段漫长的时间。
即便是制造出来晶圆，等到加工时再临时切片，也避免不了氧化作用。
所以就要对晶圆涂膜，让其能抵抗氧化以及耐温能力。
至于使用的材料，是为光阻材料中的一种，他之前保存石墨烯晶圆材料时，使用的就是一种避光树脂。
第三步是光刻机加工。
通过给晶圆涂上对紫外光敏感的化学物质，也就是光刻胶，通过控制遮光物的位置就可以得到芯片的外形。
然后再进行显影操作，通过溶剂去掉没有被
第四百一十七章：碳基芯片的离子掺杂(7/8)